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紫外光/臭氧表面处理精确可控真空型设备

来源:绿色化工信息网

项目名称

紫外光/臭氧表面处理精确可控真空型设备

技术领域

先进重大装备

技术说明

技术属性说明                                      

该项目具体表现为新装备以及由此产生的新技术。 随着石墨烯和其它前沿性新型材料研究成果的不断涌现,尤其在电极材料等领域的应用技术的不断提高和推广,该设备与技术的推广与应用将实现规模化与产业化,产生重大的社会效益和经济效益,对推动我国在新型材料研究和器件制备具有重要的战略意义。                  

技术创新点                                    

紫外线/臭氧表面处理技术利用臭氧的强氧化性能有效去除表面有机物,并对某些材料(如石墨烯)实现干法氧化改性,它在前沿研究、能源、环境等多个领域发挥着越来越重要的作用。然而,目前常规的紫外线/臭氧表面处理技术由于功能单一和可控性差,不能有效控制材料的氧化改性过程。经过数年的摸索,本项目解决了上述问题,与同类技术相比可控性强、节能环保、性价比高,这对于推动新型材料、器件以及微钠件加工技术等在未来产业化中的应用具有重要意义。            

知识产权情况            

本项目知识产权归属上海交通大学,已申请国际发明专利1项、国家发明专利3项,其中同步申请的3项实用新型专利已授权,具体如下:  

国际专利:1、紫外光/臭氧表面清洗和氧化改性真空设备系统,申请号:PCT/CN2013/082969。  

国内专利:1、用于化学气相和紫外光化学干法表面清洗改性的真空装置,申请号:201220605307.0,授权号:CN203002359U;  

2、一种对电子元件改性与电学性质表征的设备,申请号:201220585177.9,授权号:CN202948906U;

3、紫外光/臭氧表面清洗与氧化改性真空设备,专利号:ZL201320349961.4,已授权。                                                

实用价值

技术的成熟度                                    

该项目我们已经分别研制出了紫外光/臭氧表面处理单腔室低真空和双腔式高真空两套设备系统,目前设备运行稳定,处于小试阶段。

技术的实用性和适用领域                        

该项目不仅可用于对传统材料(基底和针探)、新型材料(石墨烯)和器件实施高效光化学清洗、掺杂或氧化改性,同时在半导体产业微纳加工技术中高效、快捷的清除光刻胶残胶,提高元件质量和成品率。

项目实施的重大前提条件  

该项目属于物理干法氧化技术,是一种节能、环境友好的高科技技术,不存在准入方面的困难。

合作方式

适宜推广的区域                                

中国和国际市场。

对合作单位的基本要求                          

合作单位为高科技创新型企业,具有较大的规模和完善的管理系统,有开拓国内和国际市场的实力。

合作内容                                            

双方合作主要采用技术开发和技术入股形式,具体合作内容和承担经费由双方协商达成一致。合作成功后,将对企业提供优质的后续的技术支撑和服务。

其    他

本项目作为上海交通大学重点推介项目参加2013年第十五届中国国际工业博览会。目前,对该技术进一步实施了升级,并进一步拓展了其应用领域。